В брошюре рассказано об основных проблемах и методах интегральной микроэлектроники и перспективах ее развития. Брошюра рассчитана на широкий круг радиолюбителей.
Название: Микроэлектроника Автор: Гаврилов С. Н., Никулин С. М. Издательство: Энергия Год: 1970 Страниц: 82 Формат: DJVU Размер: 2,12 МБ Качество: Отличное Серия или Выпуск: Массовая радиобиблиотека. Выпуск 741
Содержание:
Предисловие Глава первая. От дискретной электроники к микроэлектронике Основное требование, предъявляемое к радиоэлектронике Увеличение функциональной сложности РЭА, надежность и интеграция Интеграция и микроминиатюризация Комплексная микроминиатюризация Упрощение эксплуатации РЭА Массовое применение РЭА, стоимость и технология Фактор времени в радиоэлектронике Основные направления микроэлектроники Дискретная микроэлектроника (микромодули) Глава вторая. Методы изготовления интегральных схем Планарная и тонкопленочная технологии Приготовление подложек Эпитаксиальный процесс Окисление кремния Подготовка схемы и изготовление фотошаблонов Методы маскирования. Фотолитографический процесс Образование тонких пленок в интегральных схемах Локальная диффузия Методы изоляции компонентов Глава третья. Интегральные схемы и их компоненты Биполярные транзисторы интегральных схем Униполярные транзисторы интегральных схем Полупроводниковые диоды интегральных схем Резисторы интегральных схем Конденсаторы интегральных схем Ферромагнитные пленки и индуктивные компоненты для интегральных схем Тонкопленочные гибридные и полупроводниковые интегральные схемы Тонкопленочные криогенные интегральные схемы Соединения в интегральных схемах Быстродействие, размеры компонентов и плотность упаковки интегральных схем Интегральные однородные структуры Функциональные приборы Заключение Литература
